​ CNC精密零配件加工的特點

     超精密零配件加工方法的特點是（shì）對外表層物質去除或添加的量能夠作極細微的控製。但是要獲得cnc超精密零件加（jiā）工（gōng）精度，仍有賴於精密的（de）加工設備和準確的克製係統，並采用超精密掩膜作（zuò）中介物。例如超大規模集成電路的製版即使采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見（jiàn）光刻）舉行曝射，使光致抗蝕（shí）劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯（xiǎn）影劑（jì）把聚合過的或未聚合（hé）過的部（bù）分溶解掉，製成掩膜。電子束曝射（shè）製版必要采用工作台定位精度高達±0.01微米的超精密加工設（shè）備。

    超精密零配件加工（gōng），主要有超精密車（chē）削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車床上用通過精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削（xuē）厚度僅1微米左右，常用於加工有色金屬材（cái）料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡（jìng）等高精度、外表（biǎo）高度光潔的零件。例如加工核（hé）聚變（biàn）裝置用的直徑為800毫米的非（fēi）球麵反（fǎn）射鏡，高精度（dù）可達0.1微米，外表粗（cū）糙度為（wéi）Rz0.05微米。

     超精密零配件加工精度以納米，甚至後（hòu）以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納（nà）米)為目標時，超精密零（líng）件切削加工方（fāng）法已不（bú）能適應，必要借助特種精密零配件加工的方法，即應（yīng）用化學能（néng）、電化學能、熱能（néng）或電能等，使這些能量超越原子（zǐ）間的聯合能，從而去除工件外表的部分（fèn）原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬（shǔ）於這類加工的（de）有（yǒu）機械化（huà）學拋光、離子濺射（shè）和離（lí）子注入、電子束曝射、激光束加工、金（jīn）屬蒸鍍和分子束（shù）外延等。